通(tōng)常由石墨靶材直接濺射出碳原子形成。而且可(kě)以在常溫下(xià)進行塗層，對(duì)基材的(de)範圍選擇比較廣，突破原有塗層對(duì)基材的(de)限制，如一些非金屬基材橡膠、塑料、陶瓷等多(duō)可(kě)以進行塗層。TaC塗層裏金剛石SP3成分(fēn)含量高(gāo)，最高(gāo)可(kě)以達到80%。但是此類塗層内應力較大(dà)，脆性高(gāo)，通(tōng)常不能沉積太厚的(de)塗層,因此使用(yòng)範圍比較受限制。